三星、SK海力士、美光联手推进晶圆厂机器人标准，瞄准2030全自动化产线

三星电子、SK海力士与美光正与国际半导体产业协会（SEMI）协商制定晶圆厂机器人通用标准，覆盖作业、充电与生产调度等接口。三大厂商计划借此向老旧产线引入异构机器人、推动无人化，并瞄准2030年前后的全自动化晶圆厂；跨厂商统一相关部件、通信与系统接口在全球尚无先例。